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等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀適用范圍：
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導體材料試驗電極的制作等。
等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀技術參數：
供電電壓
AC220V，60Hz
*大功率
1200W
樣品臺
直徑φ65mm；
與蒸發源間距可調，調節范圍60mm-100mm
真空腔體
材質：304不銹鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm
*高溫度
1700℃
熱電偶
B型熱電偶
真空計
電子式真空計
真空系統
前級泵：浦發MVP030 無油泵 抽速30L/min
次級泵：萊寶TURBOVAC 90iX 抽速90L/s
真空接口
KF40
進氣接口
1/4卡套接頭
整機尺寸
500x350x400mm
