產品名稱：緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀

緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀應用領域：

緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀設計主要是制作一些金屬薄膜，制膜面積可達到4英寸。設備外形小巧，性價比高，是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備，可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設備使用。

緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀技術規格：

特點	1.專為SEM樣品涂覆導電金膜而設計。 2.緊湊型等離子濺射鍍膜機專為金屬涂層而設計，如金，鉑和銀。 3.包括一個2“金（4N）目標。
輸入電壓	220 VAC 50/60Hz, 200W < 1000 W (包括真空泵功率) 使用1000 W變壓器(15 A保險絲)可獲得110VAC電源。
輸出電壓	500 VDC
濺射電流	0 - 50 mA (max)可調節的濺射電流 數字電流表(mA) 過流保護
濺射時間	1 -120秒可調
樣本室	石英玻璃管, 165 mm外徑×150 mm內徑×150 mm高
樣品臺	2"直徑,高度可調, 從樣品到靶30 - 80 mm
濺射頭	2"磁控濺射頭。一個手動操作的遮板用于保護靶
真空壓力	數字真空壓力表(Pa) KF25真空泵連接器 機械泵的極限真空壓力為1，泵不包括在內。
輸入氣體	安裝一個1/4世偉洛克型管接頭，用于連接惰性氣瓶。 前面板上有一個計量閥，用于調節輸入氣體。
靶材	包括一個直徑50mm×0.12mm的金靶 4N純度金箔: 50 mm(2英寸)直徑x 0.12 mm (包含并預裝在鍍膜儀上)   可選靶材 金靶 (50 mm 直徑×0.12 mm, 4N 純度)  鉑金靶(50 mm直徑×0.12 mm, 4N純度)   銀靶(50 mm 直徑×0.5 mm, 4N 純度)  該型號適用于涂覆金，銀，鉑。并且由于能量低，不適合涂覆輕金屬材料，如Al、Mg、Zn或碳靶。請考慮我們的高功率直流/射頻磁控濺射涂布機或熱蒸發涂布機。
產品尺寸和重量	L 460 mm×W 330 mm×H 520 mm 20kg
售后服務	貨物發出后，CYKY提供一年免費售后服務，服務方式限于電話指導、視頻指導、郵件指導、配件郵寄等遠程技術支持。如需要派人現場服務，客戶需要支付服務人員差旅費和出差期間的工資

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