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產品詳情
簡單介紹：
凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時，可用此凈化型勻膠機進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備?。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨立工作，也可兩臺同時工作。
詳情介紹：
凈化型勻膠機特點：
1、帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止
勻膠過程中的雜質污染。
2、 設置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。
3、可設置時間--轉速曲線，程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏，操作簡單易學無需專業學習
5、采用無刷伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
6、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、永不生銹，便于清洗。
7、排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
8、透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時完全隔絕光阻的溢出有效
隔絕有毒氣味的散發。
9、前面板設置有電動玻璃屏升降按鈕，可電動升降前擋玻璃板。
主要技術參數：
勻膠時間：1-99秒
勻膠轉數：0-8000轉/分
凈化效果：100級（美國聯邦標準）
操作區風速：0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態：垂直層流()
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠
外形尺寸：左右寬800mm；上下高1700mm；前后深680mm
殼體顏色：亞白色
控制范圍和精度：轉速控制范圍為：500-8000轉，精度為±3%
時間控制范圍為：1-99秒，精度為±5%
轉速調整：采用PID調節，精度高。
轉速查看智能化：可自動識別哪個電機開或關，自動轉換到開啟的電機上?？捎柘冗x定，也可在運行中隨時查看任一電機的轉速。
