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產品詳情
簡單介紹：
該高速勻膠涂膜機適用于涂膠和甩干等工藝，它采用變頻電源控制器，通過設定鍵可隨意調節轉速與時間，啟動快、轉速穩定、時間準確，并可長時間連續穩定工作。使用該高速勻膠涂膜機可以有效控制膠的厚度，并具有很好的均勻性、一致性。本產品操作方便、穩定性高，具有較高的性能價格比，可廣泛應用于科研生產。
詳情介紹：
高速勻膠涂膜機的主要結構特點：
1、采用無刷伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
2、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、永不生銹，便于清洗。
3、排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
1、采用無刷伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
2、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、永不生銹，便于清洗。
3、排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
4、透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋(丙烯酸材質)，可以在旋涂作業時完全隔絕光阻的溢
出有效隔絕有毒氣味的散發。
高速勻膠涂膜機的主要性能指標：
1、主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
2、旋涂程序：100種程序，多步程序步驟，每個步驟可**到0.1秒
3、轉動速度：0-8000rpm
4、旋涂加速度：0-8000rpm/sec（空載）
5、馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1%
6、轉速調節精度<0.2rpm，重復性< 0.2rpm
1、主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
2、旋涂程序：100種程序，多步程序步驟，每個步驟可**到0.1秒
3、轉動速度：0-8000rpm
4、旋涂加速度：0-8000rpm/sec（空載）
5、馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1%
6、轉速調節精度<0.2rpm，重復性< 0.2rpm
7、工藝時間設定： 0-999.9 sec/step 0.1 精度
8、支持wafer尺寸1cm-200mm
9、旋涂作業均勻性：±3%在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量）
《高性能勻膠機的工作原理》
